羅茨泵維修使用過程中，常常會提到內部污垢的產生，這或多或少都會影響真空泵設備的使用。羅茨泵在較寬的壓強范圍內有較大的抽速；起動快，能立即工作；對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；轉子不必潤滑，泵腔內無油；振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥；驅動功率小，機械摩擦損失小；結構緊湊，占地面積小而且運轉維護費用低。